作为最低可至波长250 nm的高分辨率波前传感器,SID4 UV非常适合于紫外光学测量,包括用于光刻或半导体应用紫外激光表征,以及透镜和晶圆的表面面型检测。
波长范围 | 250 - 400 nm |
靶面尺寸 | 7.4 x 7.4 mm² |
空间分辨率 | 29.6 µm |
取样分辨率 | 250 x 250 |
相位分辨率 | 2 nm RMS |
绝对精度 | 10 nm RMS |
取样速度 | > 30 fps |
实时处理速度* | 2 fps (全分辨率下)* |
接口种类 | 以太网口 |
尺寸(宽x高x长) | 45 x 30 x 100 mm³ |
重量 | 约250g |
*使用官方配置电脑搭载SID4软件环境下